吉時利S530型參數測試系統

業界性價比最高的全自動參數測試儀

S530參數測試系統能夠實現工藝控制監測、工藝可靠性監測和器件特性分析所需的全部直流和C-V測量功能。這類系統針對混合了多種產品和技術的測試環境進行了優化設計，例如產線和研究實驗室。S530系統還具有業界領先的測試序列靈活性、自動測試功能、探針臺集成和測試數據管理功能。S530針對不同的參數測試應用環境提供了三種標準配置：

l S530基礎系統是業界性價比最高的全功能參數測試儀。它能夠提供具有很好測量靈敏度的1A電流源或200V電壓源，非常適合于通用的工藝監測應用。

l S530低電流系統基于一種超低漏流的開關矩陣和具有亞皮安級測量分辨率的靈敏測量技術。他適合于亞微米硅MOS工藝的特性分析。

l S530高壓系統能夠提供高達1000V的電壓，可用于汽車電子和電源管理測試應用所需的復雜的擊穿和漏流測試。

S500集成測試系統

滿足新興測試和成熟測試需求的靈活方案

S500集成測試系統是高度可配置的，基于儀器的系統，用于器件級、晶圓級或晶匣級半導體特性分析。基于吉時利久經驗證的測量儀器。S500系統新穎的測量特點和系統靈活性可根據您的需求進行拓展。S500系統的設計遵循3項吉時利標準原則;配置、集成和定制。這意味著您將獲得一套面向半導體特性分析的全面測試系統：集成了業界領先吉時利硬件和高度可配置ACS軟件（包括器件特性分析、可靠性/WLR、參數和器件功能測試）。憑借吉時利久經驗證的測量儀器和用戶友好的ACS軟件，S500的配置、集成和定制特性同時融合了只有吉時利才能提供的應用體驗。

l 高度可配置，基于儀器的系統

l 直觀的測試設置、數據采集以及用ACS軟件進行分析

l 吉時利的TSP-Link 背板提供高速測量吞吐量

l 全面控制自動和半自動探針

l 開發和運行器件級、site級、晶圓級和晶匣級測試